首次环评!四川中氟能新建100吨六氟化钨中试项目
所属分类:行业新闻 阅读次数:53 发布时间:2026-09-08 内容来源:氟务在线
9月7日,四川中氟能新材料科技有限公司“六氟化钨中试项目”开展环境影响评价第一次公众参与公示,项目落地雅安市雅安经济技术开发区青江路10号现有厂区内。
项目名称:六氟化钨中试项目
项目选址:四川省雅安市雅安经济技术开发区青江路10号
建设单位:四川中氟能新材料科技有限公司
项目性质:新建
建设内容:本项目利用厂区现有厂房,新建年产100吨六氟化钨中试装置,开展全流程工艺验证、参数优化、稳定性考核及产品质量论证。公辅配套依托厂区现有设施。
六氟化钨是半导体芯片制造关键钨源电子特气,用于薄膜沉积工艺,属于国内亟需推进国产化的含氟电子精细化学品。四川中氟能新材料此前已布局六氟化硫、三氟化氮、四氟化碳等多款高纯电子含氟气体产能,本次中试项目,是公司向半导体高端钨系特气赛道延伸的重要工艺验证项目。
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