快讯!英特尔以色列晶圆厂三氟化氮泄漏爆炸
所属分类:行业新闻 阅读次数:46 发布时间:2026-10-15 内容来源:氟务在线
当地时间10月14日下午,英特尔位于以色列基里亚特加特(KiryatGat)拉宾工业园区Fab38先进制程晶圆厂发生气瓶爆炸事故,现场伴随浓烟,涉及半导体特种气体“三氟化氮(NF₃)”,发生危化品泄漏,事故造成3名作业人员重度烧伤送医,其中1人伤势危重。
据以色列消防救援部门通报,当地时间14:12接警,厂区发生爆炸起火,紧急调派8支消防队伍,含危险品专业处置小组赶赴现场,火势现已扑灭。警方初步还原事故场景:罐车正在向厂区储罐输送物料,在第一台罐车断开、更换连接第二台罐车的作业环节发生气瓶爆炸,排除恐怖袭击因素。
本次涉事介质三氟化氮,是半导体制造腔体清洗、刻蚀核心含氟特种气体;该气体本身不可燃,但具备强氧化性、吸入有毒。事故发生后,以色列环保部派员进场,持续监测现场、评估化学品泄漏带来的环境风险,应急部门呼吁民众远离事发厂区。
Fab38是英特尔重点建设的先进制程晶圆基地,规划搭载EUV光刻设备,承担高端芯片产能任务。本次特种含氟气体装卸环节安全事故,也为全球半导体、电子特气及氟化工行业危化品储运、卸车作业安全敲响警钟。截至目前,事故根本原因仍在进一步调查中,厂区生产受影响情况有待英特尔官方披露。
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