南通艾佩科半导体及高纯电子特气生产项目正式开工

所属分类：行业新闻阅读次数：279 发布时间：2023-11-24

11月21日，南通艾佩科半导体材料有限公司半导体前驱体材料及高纯电子特气生产项目开工仪式在洋口化学工业园区成功举办。

艾佩科（上海）气体有限公司董事长徐学强表示，南通艾佩科半导体前驱体材料及高纯电子特气生产项目隶属国家战略新兴产业，公司将以推动高端半导体材料国产化为战略目标，为洋口镇乃至如东县经济发展做出应有的贡献！

根据公告，该项目建成后，年产电子级三氯化硼300吨；年产电子级四氯化钛800吨；年产电子级八氟环丁烷20吨；年产电子级甲基三氯硅烷200吨；年产半导体级三甲基铝2吨；年分装超纯氮气100吨、超纯氩气100吨、超纯氦气15吨、超纯二氧化碳100吨、高纯三氟化氮30吨、超纯氢气5吨；年配制磷烷混合气1000瓶和60罐管束式集装箱、年配制乙硼烷混合气500瓶和30罐管束式集装箱、年配制硅烷混合气2000瓶。

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