中船特气:光刻气产品获日本GIGAPHOTON合格供应商认证
所属分类:行业新闻 阅读次数:341 发布时间:2025-08-07
中船特气8月5日晚间公告,公司近日收到日本GIGAPHOTON株式会社发来的合格供应商认证证书,旗下光刻气产品(Kr/Ne、Ar/Ne/Xe)通过该公司认证,证书有效期至2030年7月23日。

据介绍,日本GIGAPHOTON株式会社成立于2000年,是半导体光刻领域核心企业之一,专注于光刻用准分子激光机、深紫外(DUV)及极紫外(EUV)光源的开发与制造。该公司凭借独创的激光技术和光学测量技术,为全球半导体厂商提供高性能光刻光源解决方案。近年来,GIGAPHOTON不仅在包含日本的亚洲市场获得几近全数半导体业者的青睐,在欧美市场也实现快速增长。
公司表示,此次获得合格供应商认证表明相关产品在纯度、稳定性等核心性能指标上已满足国际高端半导体制造领域的严格要求,是对公司技术研发实力和产品质量控制体系的重要认可。这将有助于公司拓展在高端半导体设备产业链中的业务机会,提升在电子特种气体领域的市场竞争力。
中船特气主要从事电子特种气体及三氟甲磺酸系列产品的研发、生产和销售,在此基础上,2024年公司拓展高纯金属业务,开展前驱体产品的研发和产业化,推进了大宗现场制气业务的并购,丰富公司的业务类型。公司持续聚焦集成电路、新能源材料等行业,以电子特气、氟化学品、高纯金属新材料为依托,通过持续夯实核心技术,打造核心竞争力产品,输出标准化技术解决方案。
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