6N高纯氟化氢投产！滨化集团半导体材料双突破

所属分类：行业新闻阅读次数：205 发布时间：2026-07-20 内容来源：氟务在线

7月19日，滨化集团在高端半导体电子材料赛道迎来两大标志性成果，高纯电子级氟化氢气体正式投产、超高纯电子级氢氟酸关键技术通过权威专家组评定，两项重大突破落地，成为企业“科技驱动，向上突围”战略落地的关键里程碑，为国内集成电路产业链自主可控再添重要支撑。

当日上午，滨化集团“北鲲计划”电子级高纯氟化氢气体投产暨新品发布会顺利举办。

高纯氟化氢气体是半导体晶圆干法蚀刻、腔体清洁等关键工艺的核心电子特气。滨化集团从工艺、工程、检测、充装四大维度完成全套技术攻关，实现制备、生产、分析、包装的闭环控制，产品品质达到6N等级（99.9999%），品质位居国内领先、国际一流梯队，成功填补山东省本土高纯氟化氢规模化产能空白。同时，由中国化工学会牵头组织的“半导体先进制程用超高纯电子级氢氟酸关键技术与应用”项目成果评价会在滨化集团举行，以中国科学院院士张锁江、中国化工学会副理事长兼秘书长方向晨等组成的专家组；经全面评审，一致认为该项目关键技术及产品指标达到国际先进水平。
该超高纯电子级氢氟酸项目列入山东省重点研发计划（重大科技创新工程）项目，由滨化集团联合天津大学研发攻关。项目团队成功攻克氢氟酸纯化、高效吸附及清洗充装关键装备等技术瓶颈，实现连续化、规模化、稳定化生产。产品指标优于SEMI-G5级，已顺利导入14nm先进制程半导体终端客户，品质和稳定性获得行业头部企业认可。

此次高纯氟化氢气体投产，进一步完善了我国半导体先进制程关键材料的自主供应能力；超高纯电子级氢氟酸通过国际先进水平评价，为国产化规模推广提供了工程化示范支撑，对保障我国集成电路产业链供应链安全稳定具有深远的战略意义。

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